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中(zhōng)國電科再簽多台大(dà)型卧式高溫純化裝備訂單-中(zhōng)國電子科技集團有限公司

來源:新聞中(zhōng)心 作者:新聞中(zhōng)心 時間:2023-03-04

  近日,電科裝備所屬山西中(zhōng)電科新能源技術有限公司與多家知(zhī)名企業再簽多台大(dà)型卧式高溫純化裝備訂單,進一(yī)步鞏固在國内高溫純化領域市場主導地位。

  目前,國内矽基半導體(tǐ)和第三代半導體(tǐ)行業對高純碳基材料的需求大(dà)幅增加,電科裝備瞄準該領域自主研發大(dà)型卧式高溫純化裝備,采用全新爐膽結構、進氣模式、真空系統,配套核心純化工(gōng)藝包,可滿足第三代半導體(tǐ)行業應用需求。

  電科裝備積極布局碳基材料裝備領域,先後研發國内首台套軟氈連續式純化爐、國内首台套碳納米管連續純化爐、立式/卧式/感應高溫純化爐等,并集成配套純化工(gōng)藝包,設備技術及質量均達到國内領先水平。後續,電科裝備将持續深耕,大(dà)力創新,不斷推動我(wǒ)(wǒ)國碳基材料高溫純化裝備自立自強。