起步“開(kāi)門紅”，離(lí)子注入機跑出交付“加速度”-中(zhōng)國電子科技集團有限公司

　　滿載設備的運輸車(chē)整裝待發，又(yòu)一(yī)台離(lí)子注入機設備駛向客戶現場，這是電科裝備今年交付的第三台離(lí)子注入機。

　　過去(qù)一(yī)年，電科裝備累計新簽設備數量創下(xià)曆史新高，同比增長近70%，在不同工(gōng)藝、不同應用領域多點開(kāi)花并獲得重複訂單。爲了滿足日益增長的訂單需求，離(lí)子注入機團隊拿出開(kāi)局即沖刺的精氣神，早謀劃早部署，早行動早落實。

　　離(lí)子注入機是集成電路芯片制造的關鍵設備，研制難度極大(dà)。爲全力攻克這一(yī)難題，研發團隊通過成千上萬次模拟實驗，夜以繼日的在線驗證，自主研制出中(zhōng)束流、大(dà)束流、高能、特種應用及第三代半導體(tǐ)等離(lí)子注入機，成功實現我(wǒ)(wǒ)國集成電路制造領域全系列離(lí)子注入機自主創新發展。

　　面向未來，中(zhōng)國電科将以黨的二十大(dà)精神爲指引，繼續瞄準國家重大(dà)戰略需求，加快推動離(lí)子注入裝備産業化發展，爲高水平科技自立自強作出新的更大(dà)貢獻。