勇擔使命，向着極精細世界邁進-中(zhōng)國電子科技集團有限公司

　　設備生(shēng)産有條不紊、機台調試精益求精、技術叠代有序展開(kāi)……當下(xià)，中(zhōng)國電科所屬爍科中(zhōng)科信正同步生(shēng)産調試13台離(lí)子注入機，設備制造與工(gōng)藝調試雙管齊下(xià)，生(shēng)産一(yī)線熱火(huǒ)朝天。

　　離(lí)子注入機是芯片制造的關鍵裝備。目前，爍科中(zhōng)科信自主研制出中(zhōng)束流、大(dà)束流、高能、特種應用及第三代半導體(tǐ)等多類型離(lí)子注入機，實現了我(wǒ)(wǒ)國芯片制造領域全系列離(lí)子注入機創新發展。2023年開(kāi)年，設備訂單總額突破2億元，行業認可度持續攀升。

　　“離(lí)子注入機具有專業性強、涉及學科多、精密化程度高等特點，研制難度極高。”技術人員(yuán)回憶研發過程，依然動容。

　　兩萬五千多個硬件7×24小(xiǎo)時密切配合，軟件系統高速運轉，要讓束流時刻保持在特定的高能量，精準地注入到矽片的指定區域，不能有一(yī)絲卡頓……這隻是高能離(lí)子注入機工(gōng)程化的“基礎套餐”。

　　要實現這些極端嚴苛要求，需要一(yī)個關卡接一(yī)個關卡地闖。其中(zhōng)就有将高能量束流均一(yī)性指标提高0.5%。

　　千萬别小(xiǎo)看這0.5%的改變！它需要項目團隊不眠不休地與影響均一(yī)性的5項關鍵指标“死磕”，修改5000多次程序。每次從實驗室出來，技術人員(yuán)在無塵服的包裹下(xià)都汗流浃背，來不及擦拭，就又(yòu)奔向辦公室，總結實驗數據。

　　最終，項目組如願實現技術指标，又(yòu)接連突破高能離(lí)子加速技術等核心技術難關，各項工(gōng)藝指标均達要求。目前，高能離(lí)子注入機已進入産線工(gōng)藝驗證的最後階段。

　　技術突破是多方面的。高溫注入工(gōng)藝的成功研發是另一(yī)個标志(zhì)性成果。

　　爲推進研發進度，項目組紮根實驗室，将原理創新與局部驗證相結合，對整個溫控流程進行數十次仿真驗證，最終實現在高溫時，設備仍能對晶圓均勻吸附，且能夠保障高效穩定傳輸的目标。同時，爲了保障獲取更加精準的工(gōng)藝參數，測試人員(yuán)在高溫設備旁對幾十道加熱工(gōng)藝進行上百次測試實驗，爲快速推算工(gōng)藝參數提供了可靠的數據支撐。

　　功夫不負有心人，事關實驗成功與否的一(yī)組關鍵參數從開(kāi)始的偏離(lí)理想值，到逐漸無限接近，直至通過嚴密論證，達到高溫注入的工(gōng)藝要求，實現控制精度和作業速度的雙赢。

　　目前，技術提升在系列産品中(zhōng)遍地開(kāi)花，中(zhōng)束流設備模組交付形式已步入正軌，大(dà)束流設備已實現與國際先進機台對标，大(dà)幅提升産品的市場核心競争力。

　　“發展國産裝備，鑄就國芯基石。”項目組夢想不停步，繼續勇攀工(gōng)藝制程新高度，提高設備生(shēng)産效率，帶動産業鏈發展。