中(zhōng)國電科實現國産離(lí)子注入機28納米工(gōng)藝全覆蓋-中(zhōng)國電子科技集團有限公司

　　編者按：近日，中(zhōng)國電科連續突破光路、控制、軟件等關鍵模塊的核心技術，實現國産離(lí)子注入機28納米工(gōng)藝制程全覆蓋重大(dà)科技成果，受到新華社、中(zhōng)國日報、科技日報等中(zhōng)央主流媒體(tǐ)廣泛關注報道，引起熱烈反響。

　　中(zhōng)國電子科技集團有限公司旗下(xià)中(zhōng)電科電子裝備集團有限公司（簡稱電科裝備）已實現國産離(lí)子注入機28納米工(gōng)藝制程全覆蓋，有力保障我(wǒ)(wǒ)國集成電路制造行業在成熟制程領域的産業安全。

研發人員(yuán)正在調試離(lí)子注入機

　　離(lí)子注入機是芯片制造中(zhōng)的關鍵裝備。在芯片制造過程中(zhōng)，需要摻入不同種類的元素按預定方式改變材料的電性能，這些元素以帶電離(lí)子的形式被加速至預定能量并注入至特定半導體(tǐ)材料中(zhōng)，離(lí)子注入機就是執行這一(yī)摻雜(zá)工(gōng)藝的芯片制造設備。

　　當前，28納米是芯片應用領域中(zhōng)覆蓋面最廣的成熟制程。據介紹，電科裝備連續突破光路、控制、軟件等關鍵模塊的核心技術，形成中(zhōng)束流、大(dà)束流、高能及第三代半導體(tǐ)等全系列離(lí)子注入機産品格局，實現了28納米工(gōng)藝制程全覆蓋，切實保障國産芯片生(shēng)産制造。

　　據了解，作爲國内最早從事離(lí)子注入設備研制及産業化的企業，電科裝備已具備從産品設計到量産應用的完整研制體(tǐ)系，産品涵蓋邏輯器件、存儲器件、功率器件、傳感器等工(gōng)藝器件，百台設備廣泛應用于國内各大(dà)集成電路先進産線，累計流片2000萬片，有力提升我(wǒ)(wǒ)國産業鏈供應鏈韌性和安全水平。